T型卡套過濾器專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì),具備以下特點(diǎn)和優(yōu)勢:
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu):堅(jiān)固耐用,耐腐蝕性強(qiáng),適用于多種工藝氣體。
● 高通量、低阻力:結(jié)構(gòu)緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,確保氣體流通順暢。
● 超高顆粒攔截率:精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度,過濾精度高達(dá)0.003μm,顆粒攔截效率達(dá)99.9999999%。
● 耐高溫、耐高壓:工作溫度范圍為-28℃至482℃,工作壓力可達(dá)414bar(6000psig),適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)的制造、測試和包裝。
● 安裝簡便:僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風(fēng)險(xiǎn),確保密封無憂。
● 100%完整性測試與氨氣檢漏測試:確保過濾器的可靠性和安全性。
應(yīng)用場景
● 半導(dǎo)體制造:用于高純氣體輸送系統(tǒng),確保氣體的超高純度,保障半導(dǎo)體生產(chǎn)的純凈度。
● 潔凈室環(huán)境:適用于潔凈室內(nèi)的制造、測試和包裝過程,防止微粒污染。
● 實(shí)驗(yàn)室及科研:為高校實(shí)驗(yàn)室、科研檢測單位提供高純氣體過濾,確保實(shí)驗(yàn)精度。
安裝和維護(hù)
● 安裝簡便:僅需進(jìn)行氣路對接與螺母緊固,無需焊接,避免焊接風(fēng)險(xiǎn),確保密封性。
● 維護(hù)便捷:過濾元件易于更換,不需拆卸管路即可清洗和更換濾芯。
T型卡套過濾器憑借其卓越的性能和便捷的安裝維護(hù)特點(diǎn),成為半導(dǎo)體領(lǐng)域工藝氣體凈化的理想選擇。